Увод у директно повезани бакарни керамички подлоге (ДБЦ).

ДБЦ процес подлоге керамике је додати елементе кисеоника између бакра и керамике, набавите Цу-О Еутецтиц течност на температури од 1065 ~ 1083 ° Ц, а затим реагују да бисте добили средњу фазу (Цуало2 или Цуал2О4) како би се смањила комбинација ЦУ плоча и керамичке супстратне хемијске металургије и коначно кроз технологију литографије за постизање припреме узорка, формирање круга.

Церамичка ПЦБ супстрат је подељена у 3 слоја, а изолациони материјал у средини је АЛ2О3 или Алн. Термичка проводљивост АЛ2О3 је обично 24 В / (м · к), а топлотна проводљивост Алн је 170 В / (м · к). Коефицијент топлотног проширења ДБЦ керамичке подлоге сличан је ономе од АЛ2О3 / АЛН-а, што је врло близу коефицијента топлотног ширења ЛЕД епитакксијалног материјала, што може значајно смањити термички стрес створен између чипа и празног керамике Подлога.

Мерит :

Јер бакарна фолија има добру електричну проводљивост и топлотну проводљивост, а АЛУМИНА ефикасно контролише проширење ЦУ-АЛ2О3-ЦУ комплекса, тако да ДБЦ супстрат има коефицијент топлотног експанзије слично ону Алумини, ДБЦ има предности добра Термичка проводљивост, снажна изолација и велика поузданост и широко се користи у ИГБТ, ЛД и ЦПВ паковању. Посебно због дебеле бакрене фолије (100 ~ 600 μм), има очигледне предности у области ИГБТ и ЛД паковања.

Недовољан :

(1) Процес припреме користи еутектичку реакцију између ЦУ и АЛ2О3 на високој температури (1065 ° Ц), која захтева високу опрему и контролу процеса, чинећи трошкове супстрата високо;

(2) Због лаког стварања микропора између слојева АЛ2О3 и ЦУ, топлотни отпор производа се смањује, а ови недостаци су постали уска грла промоције ДБЦ супстрата.

У припреми процеса ДБЦ супстрата, еутектична температура и садржај кисеоника морају се строго контролисати, а време оксидације и оксидациона температура су два најважнији параметри. Након што је бакарна фолија претходно оксидирана, интерфејс за лепљење може формирати довољно ЦУКОИ фазе на влажну ал2о3 керамичку и бакрану фолију, са великом снагом везивања; Ако бакарна фолија није унапред оксидирана, ЦУКОИ ВАТТУРИТИ-а је лоша, а велики број рупа и оштећења остаће у везивни интерфејс, смањујући снагу везања и топлотне проводљивости. За припрему ДБЦ супстрата помоћу Алн Керамицс-а, такође је неопходно предигнизирати керамичке подлоге, формирати АЛ2О3 филмове, а затим реагују са бакарским фолијама за еутектичку реакцију.